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真空蒸発
真空中での元素源の蒸発による半導体材料の薄膜を堆積させる。
- Parte del discurso: noun
- Industria/ámbito: Energía
- Categoría: Energía solar
- Company: U.S. DOE
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真空中での元素源の蒸発による半導体材料の薄膜を堆積させる。