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スパッタリング

高エネルギーイオンは原子のイジェクト蒸気が次に基板上に薄い層に堆積される半導体材料、の攻め元素源に使用される物理蒸着プロセスによって基板に太陽電池の半導体材料を適用するために使用されるプロセス。

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